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倍半氧化物透明陶瓷

熔点高,化学和光化学稳定性好,光学透明性范围较宽(0.23~8.0μm)热导率高,约为13.6W/(m·K),高的热导率对其作为固体激光截止材料极为重要。耐离子冲刷强度较好,主要应用于刻蚀机等半导体设倍的卡盘、视窗等,

熔点高,化学和光化学稳定性好,光学透明性范围较宽(0.23~8.0μm)热导率高,约为13.6W/(m·K),高的热导率对其作为固体激光截止材料极为重要。耐离子冲刷强度较好,主要应用于刻蚀机等半导体设倍的卡盘、视窗等,




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